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小型高速スピンドルユニット
3.1 解説
機械加工は、自動車部品から半導体のウェーハまで幅広く行われ、高精度化と生産性向上にますます拍車が掛かってきています。 当社では、これらの動向に応えるべく、特に半導体の機械加工を行う専用機に適用するスピンドルとして、使用回転数を5,000～40,000minに設定し、サイズをコンパクトにしたスピンドルを開発いたしました。 このスピンドルには、精度はもちろん、ロボットアームでの加工が可能になるように専用のモータを開発して内蔵しコンパクト性をもたせております。 貴社の専用機に取付けられて、生産性向上に貢献できればと考えています。
3.2 特長
- （1）内蔵モータは、コンパクトで高出力な高周波モータと機種によってはロータに永久磁石（ネオジ磁石)を使用したブラシレスDC モータを採用しています。
- （2）高周波モータ仕様のスピンドルは、汎用インバータでの駆動を可能としています。
- （3）ブラシレスDC モータ仕様のスピンドルは、専用のドライバーで駆動致します。
- （4）主軸の支持は、転動体をセラミックスにして軸受内部諸元を高速化に適合するよう設計された軸受を採用しています。（JTEKT 製ハイアビリー軸受)
- （5）主軸のアンバランスによる振動を徹底的に抑えた構造で安定した加工が行えます。
- （6）半導体の加工では、ワークの微粉末がスピンドル内部に入り込み軸受寿命等を著しく低下させますが、スピンドル前部のラビリンスを工夫して微粉末やクーラント液の浸入を防止する構造を取っています。
3.3 製作例
最高回転数：20,000min-1（IPM モータ内蔵）
■構造
■仕様
取付け方向 垂直下向き 最高回転数（min-1） 20,000 ツールインターフェイス コレット ツール把握範囲（φ：mm） 0.5～7 適用モータ出力（W) 200相当 冷却 油冷（室温同調） 前側軸受 セラミック軸受（7002C 相当品） 後側軸受 セラミック軸受（7900C 相当品） 潤滑 グリース 回転制御 専用ドライバ 最高回転数：20,000min-1（誘導モータ内蔵）
■構造
■仕様
取付け方向 垂直下向き 最高回転数（min-1） 20,000 ツールインターフェイス コレット ツール把握範囲（φ：mm） 0.5～10 適用モータ出力（W) 1,000相当 冷却 油冷（室温同調） 前側軸受 セラミック軸受（7006C 相当品） 後側軸受 セラミック軸受（7002C 相当品） 潤滑 グリース 回転制御 汎用インバータ 最高回転数：40,000min-1（高周波モータ内蔵）
■構造
■仕様
取付け方向 垂直下向き 最高回転数（min-1） 40,000 ツールインターフェイス コレット ツール把握範囲（φ：mm） 0.5～7 適用モータ出力（W) 1,000相当 冷却 油冷（室温同調） 前側軸受 セラミック軸受（7005C 相当品） 後側軸受 セラミック軸受（7001C 相当品） 潤滑 オイルミスト 回転制御 汎用高周波インバータ -
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