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  • 小型高速主轴单元

    3.1 注释

    机械加工从汽车零部件到半导体晶圆的广泛进行,高精度化和生产效率的提高也越来越加速。 KOYO为了顺应这些趋势,特别针对适用于进行半导体机械加工的专用机的主轴,开发了将运速设定在5,000~40,000 min.范围,尺寸小型化的主轴。 该主轴不仅精度高,且为了实现机械臂的加工,开发了内置小型化的专用电机。 希望能通过安装此主轴在贵公司的专用机上,为提高生产效率做出贡献。

    3.2 特点
    • (1)内置电机是一种小型化高输出的高频电机,或者根据型号的不同,在转子中则采用永久磁铁(钕磁铁)的无刷DC电机。
    • (2)高频电机型的主轴可通过通用变频器驱动。
    • (3)无刷DC电机型的主轴由专用驱动器驱动。
    • (4)主轴的支撑采用了转体陶瓷化,使轴承内部各元件符合高速化的轴承设计。(JTEKT制高速轴承)
    • (5)结构上最大限度地减少了因主轴不平衡而产生的振动,确保了加工稳定。
    • (6)在半导体的加工过程中,工件上的细微粉尘会进入主轴内部,使轴承寿命等显著降低,因此我们在主轴前密封圈上下功夫,采用了防止细微粉尘和冷却液浸入的设计结构。
    3.3 制造实例
    最高转数:2000min-1(内置IPM电机)

    ■构造

    ■构造

    ■规格

    安装方向 垂直向下
    最高转数(min-1 20,000
    刀具接口 夹爪式
    刀具夹持范围(φ:mm) 0.5~7
    适用电机输出功率(W) 200同等
    冷却 油冷(室温调节)
    前轴承 陶瓷轴承(7002C同等品)
    后轴承 陶瓷轴承(7900C同等品)
    润滑 脂润滑
    回转控制 专用驱动器
    最高转数:20,000min-1(内置感应电机)

    ■构造

    ■构造

    ■规格

    安装方向 垂直向下
    最高转数(min-1 20,000
    刀具接口 夹爪式
    刀具夹持范围(φ:mm) 0.5~7
    适用电机输出功率(W) 200同等
    冷却 油冷(室温调节)
    前轴承 陶瓷轴承(7002C同等品)
    后轴承 陶瓷轴承(7900C同等品)
    润滑 脂润滑
    回转控制 专用驱动器
    最高转数:40,000min-1(内置高频电机)

    ■构造

    ■构造

    ■规格

    安装方向 垂直向下
    最高转数(min-1 20,000
    刀具接口 夹爪式
    刀具夹持范围(φ:mm) 0.5~7
    适用电机输出功率(W) 200同等
    冷却 油冷(室温调节)
    前轴承 陶瓷轴承(7002C同等品)
    后轴承 陶瓷轴承(7900C同等品)
    润滑 脂润滑
    回转控制 专用驱动器
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